| پژوهشگران موفق به ساخت دستگاهی بسیار کوچک و ارزان برای الگودهی نانومقیاس شده‌اند. این سیستم علاوه بر کوچکی از قیمت پایینی نیز برخوردار است. با ارائه این دستگاه، هر آزمایشگاهی قادر به تهیه ادوات لیتوگرافی برای ایجاد الگوهای نانومقیاس خواهد بود. یکی از اولین ابزارها برای ایجاد الگو روی یک سطح استفاده از ترازکننده ماسک نانو و میکرومقیاس است. ترازکننده ماسک دستگاه بسیار سنگین و بزرگی است ( چند صد کیلوگرم وزن) که قادر به محدود کردن سطح برای تابش نور در ابعادی درحد 0.5 مترمربع است. در کنار این دستگاه باید ادواتی نظیر منبع تغذیه با ولتاژ بالا و خطوط گازی خنک کننده نیز وجود داشته باشد. هزینه تهیه این سیستم‌ها بسیار بالا است به‌طوری که هر آزمایشگاهی قادر به تامین آن نیست. اخیرا محققان یک سیستم متراکم و قابل حمل برای فتولیتوگرافی ارائه کرده‌اند که مبتنی بر نور حالت جامد است. این سیستم علاوه بر سبک و قابل حمل بودن، قادر است الگوهایی با کیفیت بالا را همانند تراز کننده ماسک ایجاد کند. تری اودوم از دانشگاه نورث وسترن می‌گوید سیستم فتولیتوگرافی حالت جامد (SSP) که ما ارائه کرده‌ایم ارزان بوده (تقریبا 30 دلار) و بسیار کوچک است ( 0.003 مترمکعب و کمتر از یک کیلوگرم). |
 |
| در مقاله‌ای تحت عنوان A Portable, Benchtop Photolithography System Based on a Solid-State Light Source که در نشریه Small به چاپ رسیده است آنها توضیح داده‌اند که این دستگاه از یک دیود نشر نوری فرابنفش بهره می برد همچنین مجهز به یک باتری قلمی است. هرچند که قیمت این سیستم بسیار اندک است اما قادر است الگوهای نانو مقیاس را با کیفیت بالا برای آزمایشگاه‌ها و مشاغل مختلف ایجاد کند. هانتینگتون می‌گوید از آنجایی که در این سیستم از منبع نور حالت جامد استفاده می‌شود دیگر نیازی به تجهیزات پیچیده نوری مورد استفاده در ترازکننده ماسک نیست. تنها افزایش تعداد دیودها (LEDs) می‌توان منتطقه مورد نیاز برای نور دیدن را افزایش داد. ما دو نوع سیستم مختلف ساخته‌ایم: سیستم 200 دیودی که می‌تواند برای ویفرهای صنعتی مورد استفاده قرار گیرد( با هزینه 400 دلار) و سیستم کوچک دیگری برای ویفرهای 2 اینچی ( با هزینه 30 دلار) استفاده از این سیستم جدید موجب می‌شود تا بتوان به‌راحتی به تولید انبوه رسید. مصرف انرژی کم، از دیگر مزایای این سیستم است. کل انرژی مورد استفاده برای آرایه 200 دیودی از 0.2 درصد انرژی مصرفی لامپ‌های بخار جیوه کمتر است. از سوی دیگر عمر LEDهای مبتنی بر نیترید گالیم بیش از 50 برابر بیشتر از لامپ‌های بخار جیوه‌ای است. |
